氧化铝粉末滤芯-半导体及光伏制程过滤滤芯-空气过滤-产品中心-新乡市滤清器有限公司

描述：

氧化铝 (Al₂O₃) 滤芯用于湿法清洗台、单片清洗设备、化学机械抛光（CMP）设备以及光伏制绒、刻蚀设备的循环化学液管路上。可在线过滤工艺化学品（如SC1、SC2、HF、CMP浆料）中的颗粒、凝胶或微气泡，保护晶圆/电池片表面免受损伤，同时延长化学品的单批次使用寿命。

核心技术优势：

高精度表面过滤，杜绝微颗粒脱落：采用多层氧化铝颗粒烧结工艺，形成稳定的梯度孔结构，过滤精度高，且纤维零脱落，彻底解决传统深层过滤膜（如PES）初始使用时纤维迁移问题。

极低金属离子与有机物析出：经超纯水循环工艺处理，滤芯在使用初期已预冲洗，上线后24小时内关键金属离子析出即降至0.1ppb以下。

优异的抗腐蚀强度：针对含有HF或其他强酸的极端工艺，本体氧化铝材质化学惰性极强，无膨胀、无老化风险。

工况适配对照表

应用领域：

半导体湿法设备

半导体单片清洗机

半导体化学机械抛光

半导体槽式清洗台

光伏电池湿法设备

光伏电池片制绒机

去磷硅玻璃 (PSG) 刻蚀机

案例与数据佐证：

为某晶圆厂单片清洗设备定制0.1µm高纯氧化铝滤芯，并设置循环冲洗。有效解决了单片清洗时颗粒超标、后续栅氧化层缺陷增多的问题。更换后，将滤芯的使用寿命从2周延长至3个月，化学品槽液更换频率也从每周降到每月。

FAQ区块：

问：如何判断氧化铝滤芯需要更换？

答：主要通过监控滤芯前后压差。当压差达到预设上限（通常为0.2-0.3MPa）且在线反冲无法有效恢复时便需更换。

问：氧化铝滤芯使用前需要特殊处理吗？

答：需要。必须用对应工艺化学品或超纯水充分循环冲洗，去除生产残存的微量金属离子和气泡。